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首页 > 压电与声光 > 溶胶-凝胶法制备掺镧钛酸铅铁电薄膜的研究

溶胶-凝胶法制备掺镧钛酸铅铁电薄膜的研究

La-modified PbTiO3 Ferroelectric Thin Films Prepared by Sol-Gel Process

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摘要采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了La掺杂的PbTiO3铁电薄膜(PLT),X-射线衍射测量表明PLT薄膜呈高度(100)择优取向,原子力显微镜和扫描电子显微镜测量表明制备的PLT薄膜的表面平整、结构致密.RT66A测量表明PLT薄膜有优良的铁电特性,500 kV/cm的外加电场下,剩余极化为10.6 μC/cm2,矫顽电场为55 kV/cm.用HP4194A分析了薄膜的介电特性.100 kHz时的介电常数为652.

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作者 王根水 [1] 赖珍荃 [1] 李晓军 [2] 孟祥建 [1] 孙璟兰 [1] 赵强 [1] 林铁 [1] 褚君浩 [1] 胡钧 [2] 学术成果认领
作者单位 中国科学院上海技术物理研究所,红外物理国家重点实验室,上海,200083 [1] 中国科学院上海原子核研究所,纳米生物医药研究室,上海,200030 [2]
关键词 溶胶-凝胶法PLT薄膜剩余极化介电常数
分类号 O484
栏目名称
单晶、薄膜及其他功能材料
DOI 10.3969/j.issn.1004-2474.2003.06.014
发布时间 2004-01-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
基金项目
国家自然科学基金（60076029）
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压电与声光

压电与声光

2003年25卷6期

483-485,493页

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