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项目年度编号
0300600250
成果公布年份
2003
成果简介
材料科学是当今世界各国专家学者都极为关注的高新技术学科，如何获得制备和生产新型的薄膜材料，是21世纪世界材料学科发展的重要方向。该中心研制开发生产的分子束外延、磁控溅射镀膜、激光镀膜等薄膜制备工艺及设备，广泛用于制备光电材料、电子材料、磁性材料、能源材料等，为中国薄膜材料事业的蓬勃发展做出了突出贡献，多次获得国家、部、院的嘉奖。为促进中国薄膜材料的发展，该中心愿与国内从事该项研究的单位合作，共同开发先进的薄膜材料及设备。
完成单位
中国科学院沈阳科学仪器研制中心
完成人
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