换一批
项目年度编号
0601510203
成果公布年份
2005
成果简介
是一种微机电系统(MEMS)静电驱动器，该驱动器结构简单、紧凑、通用性强、能减小驱动电压。它是利用静电驱动原理设计的，该结构的驱动电极由三块电极板构成，可以提高静电驱动力或减小驱动电压，能提高MEMS器件与集成电路的兼容性和扩展静电驱动器的使用场合，在MEMS器件中有很广泛的应用。该成果已经申请发明专利，进入实审阶段。作为一个在一定范围内可以通用的结构，有广泛的应用前景。该成果是一新的设计，具有很好的应用前景，其与集成电路系统具有兼容性。作为一个在一定范围内可以通用的结构，有广泛的应用前景。尚不具备产业化条件。成果进一步转化还有许多工作要做。该成果主要用于微光系统，可以作为微镜的基本构件，希望能够与国内从事光MEMS设计与应用或光通讯的企业或研究所合作。合作方式：产品开发合作。
完成单位
北京邮电大学
完成人
学术成果认领
- 浏览0
- 被引0
- 下载0
相似文献
- 中文期刊
- 外文期刊
- 学位论文
- 会议论文
