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项目年度编号
0800040324
中图分类号
TP212.12
成果公布年份
2006
成果简介
角速度传感器是惯性系统的核心部件，也因此成为惯导系统研究和开发的重点。角速度传感器的固态化和微型化是扩展其在军事及民用领域应用范围的关键，也是当前相关领域研究的热点与难点，为此，该项目研究一种新型微气流角速度传感器。不同于传统具有活动质量块的陀螺器件，微气流角速度传感器利用微小密闭腔内的气体作为敏感质量，采用压电与硅膜耦合机构进行驱动，通过哥氏力使循环气流偏转，并基于热线技术检测微气流在输入角速度作用下的偏移量，同时输出与输入角速度成正比的电信号，从而实现角速度的测量。该传感器具有结构简单、可靠性及抗冲击性好等优点。该项目重点研究微气流射流角速度传感器的压电-硅膜驱动机构的耦合机理及其密闭腔内微流体所产生的空气阻尼耦合效应。
完成单位
清华大学博士后流动站
完成人
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