换一批
项目年度编号
820624
中图分类号
TN305.7
成果简介
该机主要用于砷化镓ＦＥＴ、表面波、磁泡等细线条器件的高精度分离版制作。它由电子光学系统、激光工作台、控制机等部分组成。电子光学系统得到制版所需的电子束；掩模版的数据输入控制机；通过磁偏转线圈控制电子束扫描完成单元内作图；激光工作台实现单元向高精度步进。该机主要解决了高精度激光定位、提高单元场内扫描速度与精度、电气部件长期稳定性等技术关键。主要技术指标为：最小束斑０．２μｍ，作版最细条宽０．７μｍ（１×１ｍｍ），数模转换１３阶，重复频率４００ＫＣ，工作面定位精度优于±０．５μｍ，制版范围５０×５０ｍｍ。它成功地制作出１２ＧＣ、１８ＧＣ砷化镓ＦＥＴ器件、１６Ｋ磁泡、ＳＳＢＷ９００ＭＨＺ声表面波器件等高精度掩模版，并用这些版制作出高性能器件。
完成单位
电子部一四四八研究所
完成人
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