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项目年度编号
90219887
中图分类号
TP274.5
成果简介
该技术是用计算机合成全息图作为一个产生预定象差的非球面透镜，大大简化了“零差检验”的补偿光学元件。在修正型的泰曼干涉仪中，合成全息图经参考波前照射产生的非球面样板波面与被检波面干涉，从干涉图获得被检非球面面型误差。该技术提高了计算机全息检测非球面的能力（减少全息图条纹数，扩大检测波差范围）。研究成功的宽条纹干涉型合成全息图三级波面检测技术，使全息图的条纹数减少约６２％，将波差检测范围扩大３倍，该技术主要用于对各种非球面镜进行高精度定量检测。与传统检验技术相比，费用降低９５％以上，工效提高１００多倍，测试装置稳定可靠，适用性强。还可用于各种球面和平面光学元件面型误差的检验。
完成单位
机械电子工业部205所
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