电子级气体-N<,2>、H<,2>、O<,2>、Ar、He、HCl、CO<,2>、NH<,3>中28种杂质全分析技术及质量监控-论文-万方医学网

电子级气体-N<,2>、H<,2>、O<,2>、Ar、He、HCl、CO<,2>、NH<,3>中28种杂质全分析技术及质量监控

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项目年度编号 910331

中图分类号 O659

成果简介该成果系统全面地研究了Ｎ2 、Ｈ2 、Ｏ2 、Ａｒ、Ｈｅ、Ｈｃｌ、ＣＯ2 、ＮＨ3 ８种电子级气体中Ｆˉ、Ｃｌˉ、ＮＯ3 ˉ、ＳＯ4 ˉ、ＨＰＯ4 ˉ、Ｋ、Ｎａ、Ｃａ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｍｎ、Ｃｄ、Ａｌ、Ｐｂ、ＴＯＣ（总有机酸）、ＳｉＯ2 、Ｈ2 Ｏ、Ｎ2 Ｏ2 、ＴＨＣ（总碳氢物）、ＣＯ2 、Ｎｅ、Ａｒ、Ｈ2 及颗粒共２８种杂质，从取样方法到误差统计一整套的分析技术及质量监控。对引进的色谱仪作了大量改进，在分析方法上有创新，提高分析灵敏度１－３个数量级，分析方法快速、灵敏、准确、可靠，在工作生产中用于监控气体生产，保证气体质量稳定。该成果达到国内外先进水平。

完成单位中国科学院半导体研究所北京特种气体研究所

完成人 闻瑞梅李希云王铁龄王桂英

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