项目年度编号
93215851
成果简介
二坐标微型驱动器采用带压电元件、圆弧缺口支点的一体化机构。其控制系统是输出变位闭环系统，驱动器的输入和输出显示由计算机控制系统来完成。驱动器的可控行程５０ｕｍ×５０ｕｍ，重复精度０．０３ｕｍ，驱动力０．７４Ｎ，带宽４００Ｈｚ以上。该研究的二坐标微型驱动器适用于一般的超高精度的平面直接驱动。可用于微型机器人、ＩＣ及超导元件等一切精细加工工作台的直接驱动，特别适用作细胞处理工作台的直接驱动。此外，该研究为研究新型（圆弧缺口一一应变片式）直线或二坐标测微仪提供理论依据和实验数据。
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