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掺P、B对纳米Zn-O薄膜电学特性的影响

摘要本文利用扫描俄歇探针等手段研究分析了掺P、B随热处理温度的变化对纳米Zn-O薄膜电学特性的影响.结果证实了掺P、B对纳米ZnO薄膜提高导电性是有效的.

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