Spectral interferometric microscope with tandem liquid-crystal Fabry-Perot interferometers for extension of the dynamic range in three-dimensional step-height measurement.

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第一作者： Dalip Singh,Mehta

第一单位： The University of ElectroCommunications, 1-5-1 Chofugaoka, Chofu, Tokyo 182-8585, Japan.

作者： Dalip Singh,Mehta ^[1] ; Hideki,Hinosugi ; Shohei,Saito ; Mitsuo,Takeda ; Takashi,Kurokawa ; Hideki,Takahashi ; Masahito,Ando ; Masataka,Shishido ; Tetsuo,Yoshizawa

作者单位： The University of ElectroCommunications, 1-5-1 Chofugaoka, Chofu, Tokyo 182-8585, Japan. ^[1]

DOI 10.1364/ao.42.000682

PMID 12564487

发布时间 2019-07-03

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Applied optics

2003年42卷4期

682-90页

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