Statistical phase-shifting step estimation algorithm based on the continuous wavelet transform for high-resolution interferometry metrology.
第一作者:
Bicheng,Chen
第一单位:
Electronic Packaging Laboratory, State University of New York at Buffalo, Buffalo, New York 14260, USA.
作者:
DOI
10.1364/AO.50.000586
PMID
21283251
发布时间
2018-10-23
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Applied optics
586-93页
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