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Highly mass-sensitive thin film plate acoustic resonators (FPAR).

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作者： Lilia,Arapan ^[1] ; Gergana,Alexieva ; Ivan D,Avramov ; Ekaterina,Radeva ; Vesseline,Strashilov ; Ilia,Katardjiev ; Ventsislav,Yantchev

作者单位： Department of Solid State Electronics, Uppsala University, 751 21 Uppsala, Sweden. liar@angstrom.uu.se ^[1]

关键词 HMDSO aluminum nitride gravimetric membrane resonator sensitivity

DOI 10.3390/s110706942

PMID 22163994

发布时间 2021-10-21

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Sensors (Basel, Switzerland)

2011年11卷7期

6942-53页

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