换一批Optical and structural performance of the Al(1%wtSi)/Zr reflection multilayers in the 17-19nm region.
第一作者：
Qi,Zhong
第一单位：
Department Institute of Precision Optical Engineering, Department of Physics, Tongji University, Shanghai 200092, China.
作者：
医学主题词
铝(Aluminum);结晶(Crystallization);设备设计(Equipment Design);磁力学(Magnetics);材料试验(Materials Testing);显微镜检查, 原子力(Microscopy, Atomic Force);显微镜检查, 电子, 透射(Microscopy, Electron, Transmission);光学和光子学(Optics and Photonics);表面特性(Surface Properties);X线衍射(X-Ray Diffraction);X线(X-Rays);锆(Zirconium)
DOI
10.1364/OE.20.010692
PMID
22565694
发布时间
2018-10-23
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Optics express
10692-700页
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