Self-assembled titanium calcium oxide nanopatterns as versatile reactive nanomasks for dry etching lithographic transfer with high selectivity.
第一作者:
Marco,Faustini
第一单位:
Laboratoire Chimie de la Matière Condensée, UMR UPMC-Collège de France-CNRS 7574, Collège de France, 11 place Marcelin Berthelot, 75231 Paris, France.
作者:
主题词
钙化合物(Calcium Compounds);结晶(Crystallization);材料试验(Materials Testing);分子印迹(Molecular Imprinting);纳米结构(Nanostructures);氧化物(Oxides);粒子大小(Particle Size);摄影术(Photography);硅(Silicon);表面特性(Surface Properties);钛(Titanium)
DOI
10.1039/c2nr33341d
PMID
23247472
发布时间
2013-11-21
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