Fabrication of broadband poly(vinylidene difluoride-trifluroethylene) line-focus ultrasonic transducers for surface acoustic wave measurements of anisotropy of a (100) silicon wafer.
作者:
主题词
弹性成像技术(Elasticity Imaging Techniques);设备设计(Equipment Design);设备失效分析(Equipment Failure Analysis);材料试验(Materials Testing);膜, 人工(Membranes, Artificial);微机电系统(Micro-Electrical-Mechanical Systems);乙烯类聚合物(Polyvinyls);硅(Silicon);声音(Sound);换能器(Transducers)
DOI
10.1016/j.ultras.2013.07.006
PMID
23899826
发布时间
2013-11-21
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Ultrasonics
296-304页
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