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    首页> Applied surface science> A novel ToF-SIMS operation mode for sub 100 nm lateral resolution: Application and performance.

    A novel ToF-SIMS operation mode for sub 100 nm lateral resolution: Application and performance.

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    作者： Markus,Kubicek [1] ; Gerald,Holzlechner [1] ; Alexander K,Opitz [1] ; Silvia,Larisegger [1] ; Herbert,Hutter [1] ; Jürgen,Fleig [1]
    作者单位： Institute of Chemical Technologies and Analytics, Vienna University of Technology, Getreidemarkt 9, A-1060 Vienna, Austria. [1]
    关键词 Lateral resolutionOxygen isotope analysisToF-SIMS
    DOI 10.1016/j.apsusc.2013.10.177
    PMID 24748701
    发布时间 2021-10-21
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    Applied surface science

    Applied surface science

    2014年289卷100期

    407-416页

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