Fabrication of capacitive acoustic resonators combining 3D printing and 2D inkjet printing techniques.

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作者： Rubaiyet Iftekharul,Haque ^[1] ; Erick,Ogam ^[2] ; Christophe,Loussert ^[3] ; Patrick,Benaben ^[4] ; Xavier,Boddaert ^[5]

作者单位： Centre Microélectronique de Provence (CMP), École Nationale Supérieure des Mines de Saint-Étienne, 13541 Gardanne, France. haque@emse.fr. ^[1] Laboratoire de Mécanique et D'Acoustique UPR7051 CNRS, 31 Chemin Josep Aiguier, 13402 Marseille, France. ogam@lma.cnrs-mrs.fr. ^[2] TAGSYS RFID, 13600 La Ciotat, France. christophe.loussert@tagsysrfid.com. ^[3] Centre Microélectronique de Provence (CMP), École Nationale Supérieure des Mines de Saint-Étienne, 13541 Gardanne, France. benaben@emse.fr. ^[4] Centre Microélectronique de Provence (CMP), École Nationale Supérieure des Mines de Saint-Étienne, 13541 Gardanne, France. boddaert@emse.fr. ^[5]

关键词 3D printing acoustic transducer inkjet printing printed electronics resonator

DOI 10.3390/s151026018

PMID 26473878

发布时间 2018-11-13

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