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首页> Sensors (Basel, Switzerland)> Analysis of a Segmented Annular Coplanar Capacitive Tilt Sensor with Increased Sensitivity.

Analysis of a Segmented Annular Coplanar Capacitive Tilt Sensor with Increased Sensitivity.

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第一作者： Jiahao,Guo
第一单位： Department of Automation Measurement and Control Engineering, Harbin Institute of Technology, D-403 Science Park, 2 Yikuang Street, Harbin 150080, China. gwojaho@gmail.com.
作者： Jiahao,Guo [1] ; Pengcheng,Hu [2] ; Jiubin,Tan [3]
作者单位： Department of Automation Measurement and Control Engineering, Harbin Institute of Technology, D-403 Science Park, 2 Yikuang Street, Harbin 150080, China. gwojaho@gmail.com. [1] Department of Automation Measurement and Control Engineering, Harbin Institute of Technology, D-403 Science Park, 2 Yikuang Street, Harbin 150080, China. hupc@hit.edu.cn. [2] Department of Automation Measurement and Control Engineering, Harbin Institute of Technology, D-403 Science Park, 2 Yikuang Street, Harbin 150080, China. jbtan@outlook.com. [3]
关键词 increased sensitivitysegmented annular coplanar capacitorstructure optimizationtilt sensing
DOI 10.3390/s16010133
PMID 26805844
发布时间 2023-04-12
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Sensors (Basel, Switzerland)

Sensors (Basel, Switzerland)

2016年16卷1期

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