Cantilever bending based on humidity-actuated mesoporous silica/silicon bilayers.

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作者： Christian,Ganser ^[1] ; Gerhard,Fritz-Popovski ^[1] ; Roland,Morak ^[1] ; Parvin,Sharifi ^[2] ; Benedetta,Marmiroli ^[3] ; Barbara,Sartori ^[3] ; Heinz,Amenitsch ^[3] ; Thomas,Griesser ^[4] ; Christian,Teichert ^[1] ; Oskar,Paris ^[1]

作者单位： Institute of Physics, Montanuniversitaet Leoben, Austria. ^[1] Institute of Physics, Montanuniversitaet Leoben, Austria; Max-Planck-Institut für Kohlenforschung, Mülheim an der Ruhr, Germany. ^[2] Institute of Inorganic Chemistry, Graz University of Technology, Austria. ^[3] Chair of Chemistry of Polymeric Materials, Montanuniversitaet Leoben, Austria. ^[4]

关键词 AFM cantilever bilayer bending grazing incidence small-angle X-ray scattering (GISAXS)mesoporous film sorption-induced deformation

DOI 10.3762/bjnano.7.56

PMID 27335753

发布时间 2020-09-30

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Beilstein journal of nanotechnology

2016年7卷

637-44页

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