Nitride-Based Materials for Flexible MEMS Tactile and Flow Sensors in Robotics.

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作者： Claudio,Abels ^[1] ; Vincenzo Mariano,Mastronardi ^[2] ; Francesco,Guido ^[3] ; Tommaso,Dattoma ^[4] ; Antonio,Qualtieri ^[5] ; William M,Megill ^[6] ; Massimo,De Vittorio ^[7] ; Francesco,Rizzi ^[8]

作者单位： Center for Biomolecular Nanotechnologies @UNILE, Istituto Italiano di Tecnologia (IIT), Arnesano (LE) 73010, Italy. claudio.abels@hsrw.eu. ^[1] Università del Salento, Dipartimento di Ingegneria dell'Innovazione, Lecce 73100, Italy. claudio.abels@hsrw.eu. ^[2] Rhine-Waal University of Applied Sciences, Faculty of Technology and Bionics, Kleve 47533, Germany. claudio.abels@hsrw.eu. ^[3] Center for Biomolecular Nanotechnologies @UNILE, Istituto Italiano di Tecnologia (IIT), Arnesano (LE) 73010, Italy. vincenzo.mastronardi@iit.it. ^[4] Center for Biomolecular Nanotechnologies @UNILE, Istituto Italiano di Tecnologia (IIT), Arnesano (LE) 73010, Italy. francesco.guido@iit.it. ^[5] Center for Biomolecular Nanotechnologies @UNILE, Istituto Italiano di Tecnologia (IIT), Arnesano (LE) 73010, Italy. tommaso.dattoma@iit.it. ^[6] Center for Biomolecular Nanotechnologies @UNILE, Istituto Italiano di Tecnologia (IIT), Arnesano (LE) 73010, Italy. antonio.qualtieri@iit.it. ^[7] Rhine-Waal University of Applied Sciences, Faculty of Technology and Bionics, Kleve 47533, Germany. william.megill@hsrw.eu. ^[8] Center for Biomolecular Nanotechnologies @UNILE, Istituto Italiano di Tecnologia (IIT), Arnesano (LE) 73010, Italy. massimo.devittorio@iit.it. ^[9] Università del Salento, Dipartimento di Ingegneria dell'Innovazione, Lecce 73100, Italy. massimo.devittorio@iit.it. ^[10] Center for Biomolecular Nanotechnologies @UNILE, Istituto Italiano di Tecnologia (IIT), Arnesano (LE) 73010, Italy. francesco.rizzi@iit.it. ^[11]

关键词 MEMS aluminum nitride flow sensing piezoelectric piezoresistive silicon nitride stress-driven tactile sensing

DOI 10.3390/s17051080

PMID 28489040

发布时间 2023-04-12

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