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首页> Sensors (Basel, Switzerland)> In-Process Atomic-Force Microscopy (AFM) Based Inspection.

In-Process Atomic-Force Microscopy (AFM) Based Inspection.

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第一作者： Samir,Mekid
第一单位： Mechanical Engineering Department, King Fahd University of Petroleum and Minerals, Dhahran 31261, Saudi Arabia. smekid@kfupm.edu.sa.
作者： Samir,Mekid [1]
作者单位： Mechanical Engineering Department, King Fahd University of Petroleum and Minerals, Dhahran 31261, Saudi Arabia. smekid@kfupm.edu.sa. [1]
关键词 AFMin-process inspectionnanomachiningnanoscale inspectionprobes
DOI 10.3390/s17061194
PMID 28561747
发布时间 2018-11-13
提交
  • 浏览10
Sensors (Basel, Switzerland)

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2017年17卷6期

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