Distortion-free measurement of electric field strength with a MEMS sensor.

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第一作者： Andreas,Kainz

第一单位： Institute of Sensor and Actuator Systems, TU Wien, Vienna, Austria.

作者： Andreas,Kainz ^[1] ; Harald,Steiner ^[2] ; Johannes,Schalko ^[1] ; Artur,Jachimowicz ^[1] ; Franz,Kohl ^[2] ; Michael,Stifter ^[2] ; Roman,Beigelbeck ^[2] ; Franz,Keplinger ^[1] ; Wilfried,Hortschitz ^[2]

作者单位： Institute of Sensor and Actuator Systems, TU Wien, Vienna, Austria. ^[1] Center of Integrated Sensor Systems, Danube University Krems, Wr. Neustadt, Austria. ^[2]

DOI 10.1038/s41928-017-0009-5

PMID 29485145

发布时间 2022-01-29

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Nature electronics

2018年1卷

68-73页

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