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Monolithic Multi Degree of Freedom (MDoF) Capacitive MEMS Accelerometers.

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第一作者： Zakriya,Mohammed

第一单位： Department of Electrical and Computer Engineering, New York University-Tandon School of Engineering, Brooklyn, NY 11201, USA. zm775@nyu.edu.

作者： Zakriya,Mohammed ^[1] ; Ibrahim Abe M,Elfadel ^[2] ; Mahmoud,Rasras ^[3]

作者单位： Department of Electrical and Computer Engineering, New York University-Tandon School of Engineering, Brooklyn, NY 11201, USA. zm775@nyu.edu. ^[1] Department of Electrical and Computer Engineering, Khalifa University, Abu Dhabi 54224, UAE. ibrahim.elfadel@ku.ac.ae. ^[2] Engineering Department, New York University, Abu Dhabi 129118, UAE. mrasras@nyu.edu. ^[3]

关键词 accelerometer capacitive transduction inertial sensors micromachining miniaturization multi-axis sensing three-axis accelerometer

DOI 10.3390/mi9110602

PMID 30453536

发布时间 2020-10-01

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