换一批Effects of the Ion to Growth Flux Ratio on the Constitution and Mechanical Properties of Cr<sub>1-<i>x</i></sub>-Al<sub><i>x</i></sub>-N Thin Films.
第一作者：
Lars,Banko
第一单位：
Surface Engineering Institute , RWTH Aachen University , Kackertstrasse 15 , 52072 Aachen , Germany.
作者：
医学主题词
铝(Aluminum);铬(Chromium);组合化学技术(Combinatorial Chemistry Techniques);材料试验(Materials Testing);氮(Nitrogen);应力, 物理(Stress, Mechanical)
DOI
10.1021/acscombsci.9b00123
PMID
31689080
发布时间
2020-08-24
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ACS combinatorial science
782-793页
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