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首页> Micromachines> Controlled Focused Ion Beam Milling of Composite Solid State Nanopore Arrays for Molecule Sensing.

Controlled Focused Ion Beam Milling of Composite Solid State Nanopore Arrays for Molecule Sensing.

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第一作者： Péter,Fürjes
第一单位： Microsystems Lab, Inst. of Technical Physics and Materials Science, Centre for Energy Research, Budapest H-1121, Hungary.
作者： Péter,Fürjes [1]
作者单位： Microsystems Lab, Inst. of Technical Physics and Materials Science, Centre for Energy Research, Budapest H-1121, Hungary. [1]
关键词 composite/multi-layer solid state nanopore arrayfocused ion beam millingmolecule detectionnanofabricationnanofluidics
DOI 10.3390/mi10110774
PMID 31766129
发布时间 2020-09-28
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