Micro/Nanostructure Engineering of Epitaxial Piezoelectric α-Quartz Thin Films on Silicon.

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第一作者： Qianzhe,Zhang

第一单位： Institut d'Electronique et des Systemes (IES), CNRS , Université de Montpellier , 860 Rue de Saint Priest 34095 Montpellier , France.;Institut de Ciència de Materials de Barcelona ICMAB, Consejo Superior de Investigaciones Científicas CSIC, Campus UAB , 08193 Bellaterra , Catalonia , Spain.

作者： Qianzhe,Zhang ^[1] ; David,Sánchez-Fuentes ^[2] ; Rudy,Desgarceaux ^[2] ; Pau,Escofet-Majoral ^[2] ; Judith,Oró-Soler ^[3] ; Jaume,Gázquez ^[3] ; Guilhem,Larrieu ^[4] ; Benoit,Charlot ^[2] ; Andrés,Gómez ^[3] ; Martí,Gich ^[3] ; Adrián,Carretero-Genevrier ^[2]

作者单位： Institut d'Electronique et des Systemes (IES), CNRS , Université de Montpellier , 860 Rue de Saint Priest 34095 Montpellier , France.;Institut de Ciència de Materials de Barcelona ICMAB, Consejo Superior de Investigaciones Científicas CSIC, Campus UAB , 08193 Bellaterra , Catalonia , Spain. ^[1] Institut d'Electronique et des Systemes (IES), CNRS , Université de Montpellier , 860 Rue de Saint Priest 34095 Montpellier , France. ^[2] Institut de Ciència de Materials de Barcelona ICMAB, Consejo Superior de Investigaciones Científicas CSIC, Campus UAB , 08193 Bellaterra , Catalonia , Spain. ^[3] LAAS-CNRS , Université de Toulouse , CNRS, INP, 7 av. Colonel Roche , 31031 Toulouse , France. ^[4]

关键词 epitaxial growth nanostructuration piezoelectricity quartz silicon thin films

DOI 10.1021/acsami.9b18555

PMID 31880913

发布时间 2020-02-07

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