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首页> Sensors (Basel, Switzerland)> Fabrication and Characteristics of a Three-Axis Accelerometer with Double L-Shaped Beams.

Fabrication and Characteristics of a Three-Axis Accelerometer with Double L-Shaped Beams.

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第一作者： Ying,Wang
第一单位： The Key Laboratory of Electronics Engineering, College of Heilongjiang Province, Heilongjiang University, Harbin 150080, China.
作者： Ying,Wang [1] ; Xiaofeng,Zhao [1] ; Dianzhong,Wen [1]
作者单位： The Key Laboratory of Electronics Engineering, College of Heilongjiang Province, Heilongjiang University, Harbin 150080, China. [1]
关键词 MEMS technologycross-axis sensitivitydouble L-shaped beamthree-axis accelerometer
DOI 10.3390/s20061780
PMID 32213816
发布时间 2020-04-16
基金项目
Grant No. 61971180, 61471159, 61006057/National Natural Science Foundation of China
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Sensors (Basel, Switzerland)

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2020年20卷6期

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