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    首页> Optics letters> Detection of ion implantation in focused ion beam processing by scattering-type scanning near-field optical microscopy.

    Detection of ion implantation in focused ion beam processing by scattering-type scanning near-field optical microscopy.

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    作者： Wenhao,Zhang ; Kaidi,Zhang ; Wenting,Wang ; Yuhang,Chen
    DOI 10.1364/OL.409718
    PMID 33528431
    发布时间 2021-02-03
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    Optics letters

    Optics letters

    2021年46卷3期

    649-652页

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