Study for Laser Controlled Fabrication of Micro/Nano-Structures of Silicon Based on Multi-Physics Model.

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第一作者： Liqun,Wu

第一单位： School of Mechanical Engineering, Hangzhou Dianzi University, Hangzhou 310018, China.

作者： Liqun,Wu ^[1] ; Jianlong,Chen ^[1] ; Linan,Zhang ^[1] ; Hongcheng,Wang ^[1] ; Chao,Chen ^[2]

作者单位： School of Mechanical Engineering, Hangzhou Dianzi University, Hangzhou 310018, China. ^[1] School of Information and Electronic Engineering, Zhejiang Gongshang University, Hangzhou 310018, China. ^[2]

关键词 diffuse interface model micro/nano-cantilever sensor micro/nano-structures temperature field

DOI 10.3390/mi12050528

PMID 34067006

发布时间 2021-06-15

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2021年12卷5期

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