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Evanescent Field Controllable MZ Sensor via Femtosecond Laser Processing and Mechanic Polishing.

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第一作者： Zong-Da,Zhang

第一单位： State Key Laboratory of Integrated Optoelectronics, College of Electronic Science and Engineering, Jilin University, Changchun 130012, China.

作者： Zong-Da,Zhang ^[1] ; Yan-Zhao,Duan ^[1] ; Qi,Guo ^[1] ; Si,Gao ^[1] ; Bing-Rong,Gao ^[1]

作者单位： State Key Laboratory of Integrated Optoelectronics, College of Electronic Science and Engineering, Jilin University, Changchun 130012, China. ^[1]

关键词 femtosecond laser index sensor waveguide

DOI 10.3390/mi12111421

PMID 34832832

发布时间 2021-11-30

基金项目

2016YFA0301700/National Key Research and Development Program of China 61590930, 61805098, 61825502, 61827826/National Natural Science Foundation of China

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