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首页> ACS applied materials & interfaces> 3D Nanoprinting by Electron-Beam with an Ice Resist.

3D Nanoprinting by Electron-Beam with an Ice Resist.

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第一作者： Shan,Wu
第一单位： College of Optical Science and Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China.;Key Laboratory of 3D Micro/Nano Fabrication and Characterization of Zhejiang Province, School of Engineering, Westlake University, Hangzhou 310024, China.;Institute of Advanced Technology, Westlake Institute for Advanced Study, Hangzhou 310024, China.
作者： Shan,Wu [1] ; Ding,Zhao [2] ; Min,Qiu [2]
作者单位： College of Optical Science and Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China.;Key Laboratory of 3D Micro/Nano Fabrication and Characterization of Zhejiang Province, School of Engineering, Westlake University, Hangzhou 310024, China.;Institute of Advanced Technology, Westlake Institute for Advanced Study, Hangzhou 310024, China. [1] Key Laboratory of 3D Micro/Nano Fabrication and Characterization of Zhejiang Province, School of Engineering, Westlake University, Hangzhou 310024, China.;Institute of Advanced Technology, Westlake Institute for Advanced Study, Hangzhou 310024, China. [2]
关键词 3D printingelectron-beam lithographyice lithographyice resistssolid anisolesuspended nanostructures
DOI 10.1021/acsami.1c18356
PMID 34933558
发布时间 2022-01-13
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ACS applied materials & interfaces

ACS applied materials & interfaces

2022年14卷1期

1652-1658页

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