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    首页> Sensors (Basel, Switzerland)> Enhancing AlN PMUTs' Acoustic Responsivity within a MEMS-on-CMOS Process.

    Enhancing AlN PMUTs' Acoustic Responsivity within a MEMS-on-CMOS Process.

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    作者： Eyglis,Ledesma [1] ; Ivan,Zamora [1] ; Arantxa,Uranga [1] ; Francesc,Torres [1] ; Núria,Barniol [1]
    作者单位： Departament d'Enginyeria Electrònica, Universitat Autónoma de Barcelona, 08193 Bellaterra, Spain. [1]
    关键词 AlNCMOSMEMS-on-CMOSPMUTPMUT-on-CMOSacoustic responsivitypiezoelectric transducersultrasound
    主题词 声学(Acoustics);电极(Electrodes);设备设计(Equipment Design);微机电系统(Micro-Electrical-Mechanical Systems);换能器(Transducers)
    DOI 10.3390/s21248447
    PMID 34960541
    发布时间 2021-12-31
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    Sensors (Basel, Switzerland)

    Sensors (Basel, Switzerland)

    2021年21卷24期

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