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Integration of Multifocal Microlens Array on Silicon Microcantilever via Femtosecond-Laser-Assisted Etching Technology.

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第一作者： Bao-Xu,Wang

第一单位： State Key Laboratory of Integrated Optoelectronics, College of Electronic Science and Engineering, Jilin University, Changchun 130012, China.

作者： Bao-Xu,Wang ^[1] ; Jia-Xin,Zheng ^[1] ; Jin-Yong,Qi ^[1] ; Ming-Rui,Guo ^[1] ; Bing-Rong,Gao ^[1] ; Xue-Qing,Liu ^[1]

作者单位： State Key Laboratory of Integrated Optoelectronics, College of Electronic Science and Engineering, Jilin University, Changchun 130012, China. ^[1]

关键词 MOEMS dry etching femtosecond laser multifocal microlens array silicon microcantilever

DOI 10.3390/mi13020218

PMID 35208341

发布时间 2022-03-01

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