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    首页> ACS nano> Ultraviolet-Assisted Low-Thermal-Budget-Driven α-InGaZnO Thin Films for High-Performance Transistors and Logic Circuits.

    Ultraviolet-Assisted Low-Thermal-Budget-Driven α-InGaZnO Thin Films for High-Performance Transistors and Logic Circuits.

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    作者： Yongchun,Zhang [1] ; Gang,He [2] ; Leini,Wang [1] ; Wenhao,Wang [3] ; Xiaofen,Xu [1] ; Wenjun,Liu [1]
    作者单位： School of Materials Science and Engineering, Anhui University, Hefei 230601, China. [1] School of Mechanical and Electrical Engineering, Chuzhou University, Chuzhou 239000, China. [2] Institute of Physical Science and Information Technology, Anhui University, Hefei 230601, China. [3] State Key Laboratory of ASIC and System, School of Microelectronics, Fudan University, Shanghai 200433, China. [4]
    关键词 1/f noiseUV-ORTAinverterlow-temperature annealingα-IGZO thin film transistors
    DOI 10.1021/acsnano.2c01286
    PMID 35274929
    发布时间 2022-03-23
    提交
    • 浏览0
    ACS nano

    ACS nano

    2022年16卷3期

    4961-4971页

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