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首页> Materials (Basel, Switzerland)> Fabrication of Large-Area Mullite-Cordierite Composite Substrates for Semiconductor Probe Cards and Enhancement of Their Reliability.

Fabrication of Large-Area Mullite-Cordierite Composite Substrates for Semiconductor Probe Cards and Enhancement of Their Reliability.

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第一作者： Da-Eun,Hyun
第一单位： Department of Electronic Materials Engineering, Kwangwoon University, 20 Kwangwoon-ro, Nowon-gu, Seoul 01897, Korea.
作者： Da-Eun,Hyun [1] ; Jwa-Bin,Jeon [1] ; Yeon-Sook,Lee [2] ; Yong-Nam,Kim [2] ; Minkyung,Kim [1] ; Seunghoon,Ko [1] ; Sang-Mo,Koo [1] ; Weon Ho,Shin [1] ; Chulhwan,Park [3] ; Dong-Won,Lee [2] ; Jong-Min,Oh [1]
作者单位： Department of Electronic Materials Engineering, Kwangwoon University, 20 Kwangwoon-ro, Nowon-gu, Seoul 01897, Korea. [1] Material Technology Center, Korea Testing Laboratory, 87 Digital-ro 26-gil, Guro-gu, Seoul 08389, Korea. [2] Department of Chemical Engineering, Kwangwoon University, 20 Kwangwoon-ro, Nowon-gu, Seoul 01897, Korea. [3]
关键词 composite ceramicscordieriteenvironmental testsmullitesemiconductor probe cards
DOI 10.3390/ma15124283
PMID 35744342
发布时间 2022-07-16
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Materials (Basel, Switzerland)

Materials (Basel, Switzerland)

2022年15卷12期

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