High-Temperature Ferroelectric Behavior of Al<sub>0.7</sub>Sc<sub>0.3</sub>N.

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第一作者： Daniel,Drury

第一单位： Colorado School of Mines, 1500 Illinois Ave., Golden, CO 80401, USA.

作者： Daniel,Drury ^[1] ; Keisuke,Yazawa ^[2] ; Andriy,Zakutayev ^[3] ; Brendan,Hanrahan ^[1] ; Geoff,Brennecka ^[2]

作者单位： Colorado School of Mines, 1500 Illinois Ave., Golden, CO 80401, USA. ^[1] National Renewable Energy Laboratory, 15013 Denver West Parkway, Golden, CO 80401, USA. ^[2] U.S. Army Combat Capabilities Development Command-Army Research Laboratory, Adelphi, MD 20783, USA. ^[3]

关键词 AlScN fatigue ferroelectric film high temperature nonvolatile memory retention sputter deposition wurtzite

DOI 10.3390/mi13060887

PMID 35744501

发布时间 2023-03-08

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2022年13卷6期

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