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首页> Micromachines> Dual-Mode Scandium-Aluminum Nitride Lamb-Wave Resonators Using Reconfigurable Periodic Poling.

Dual-Mode Scandium-Aluminum Nitride Lamb-Wave Resonators Using Reconfigurable Periodic Poling.

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第一作者： Sushant,Rassay
第一单位： Electrical and Computer Engineering Department, University of Florida, Gainesville, FL 32603, USA.
作者： Sushant,Rassay [1] ; Dicheng,Mo [1] ; Roozbeh,Tabrizian [1]
作者单位： Electrical and Computer Engineering Department, University of Florida, Gainesville, FL 32603, USA. [1]
关键词 Lamb-wave resonatorscomplementary switchableferroelectricscandium–aluminum nitride
DOI 10.3390/mi13071003
PMID 35888820
发布时间 2022-07-31
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