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首页> Small (Weinheim an der Bergstrasse, Germany)> Ultra-Confined Catalytic Growth Integration of Sub-10 nm 3D Stacked Silicon Nanowires Via a Self-Delimited Droplet Formation Strategy.

Ultra-Confined Catalytic Growth Integration of Sub-10 nm 3D Stacked Silicon Nanowires Via a Self-Delimited Droplet Formation Strategy.

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第一作者： Ruijin,Hu

第一单位： School of Electronics Science and Engineering/National Laboratory of Solid-State Microstructures, Nanjing University, Nanjing, 210093, P. R. China.

作者： Ruijin,Hu ^[1] ; Yifei,Liang ^[1] ; Wentao,Qian ^[1] ; Xin,Gan ^[1] ; Lei,Liang ^[1] ; Junzhuan,Wang ^[1] ; Zongguang,Liu ^[1] ; Yi,Shi ^[1] ; Jun,Xu ^[1] ; Kunji,Chen ^[1] ; Linwei,Yu ^[1]

作者单位： School of Electronics Science and Engineering/National Laboratory of Solid-State Microstructures, Nanjing University, Nanjing, 210093, P. R. China. ^[1]

关键词 3D integration catalytic growth in-plane solid-liquid-solid ultrathin Si nanowires

主题词纳米线(Nanowires);硅(Silicon);催化作用(Catalysis)

DOI 10.1002/smll.202204390

PMID 36084173

发布时间 2022-11-30

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2022年18卷42期

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