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Development of automated tip preparation for atom probe tomography by using script-controlled FIB-SEM.

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第一作者： Jun,Uzuhashi

第一单位： National Institute for Materials Science, Tsukuba 305-0047, Japan. Electronic address: UZUHASHI.Jun@nims.go.jp.

作者： Jun,Uzuhashi ^[1] ; Tadakatsu,Ohkubo ^[2] ; Kazuhiro,Hono ^[2]

作者单位： National Institute for Materials Science, Tsukuba 305-0047, Japan. Electronic address: UZUHASHI.Jun@nims.go.jp. ^[1] National Institute for Materials Science, Tsukuba 305-0047, Japan. ^[2]

关键词 APT, atom probe tomography FIB, focused ion beam SEM, scanning electron microscopy Scripting language automation

DOI 10.1016/j.ultramic.2023.113704

PMID 36822070

发布时间 2023-03-02

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Ultramicroscopy

2023年247卷

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