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A Study on the Gas/Humidity Sensitivity of the High-Frequency SAW CO Gas Sensor Based on Noble-Metal-Modified Metal Oxide Film.

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作者： Haiyang,Yang ^[1] ; Bin,Shen ^[1] ; Xinlei,Liu ^[1] ; Chunbo,Jin ^[1] ; Tianshun,Zhou ^[1]

作者单位： School of Safety Engineering, Heilongjiang University of Science and Technology, Harbin 150022, China. ^[1]

关键词 CO gas Pd–Pt/SnO2/Al2O3 thin film SAW gas sensitivity humidity sensitivity

DOI 10.3390/s23052487

PMID 36904690

发布时间 2023-03-13

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Sensors (Basel, Switzerland)

2023年23卷5期

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