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首页> Journal of colloid and interface science> Benzethonium chloride as a tungsten corrosion inhibitor in neutral and alkaline media for the post-chemical mechanical planarization application.

Benzethonium chloride as a tungsten corrosion inhibitor in neutral and alkaline media for the post-chemical mechanical planarization application.

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第一作者： Ranjith,Punathil Meethal
第一单位： Department of Materials Science and Chemical Engineering, Hanyang University, Ansan 15588, Republic of Korea.
作者： Ranjith,Punathil Meethal [1] ; Palwasha,Jalalzai [1] ; Muskan [1] ; Sumit,Kumar [1] ; Jerome,Peter [1] ; Andreas,Klipp [2] ; Tae-Gon,Kim [3] ; Jin-Goo,Park [4]
作者单位： Department of Materials Science and Chemical Engineering, Hanyang University, Ansan 15588, Republic of Korea. [1] BASF SE, Ludwigshafen 67056, Germany. [2] Department of Smart Convergence Engineering, Hanyang University, Ansan 15588, Republic of Korea. Electronic address: tgon@hanyang.ac.kr. [3] Department of Materials Science and Chemical Engineering, Hanyang University, Ansan 15588, Republic of Korea. Electronic address: jgpark@hanyang.ac.kr. [4]
关键词 Corrosion inhibitorsEISFrontier molecular orbital theoryLangmuir adsorptionMolecular simulationTungsten post-CMP
DOI 10.1016/j.jcis.2023.04.012
PMID 37088050
发布时间 2023-05-11
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Journal of colloid and interface science

Journal of colloid and interface science

2023年643卷

465-479页

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