A Smart Active Phase-Change Micropump Based on CMOS-MEMS Technology.

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作者： Wenzui,Jin ^[1] ; Yimin,Guan ^[2] ; Qiushi,Wang ^[1] ; Peng,Huang ^[2] ; Qin,Zhou ^[1] ; Kun,Wang ^[2] ; Demeng,Liu ^[1]

作者单位： School of Microelectronics, Shanghai University, Shanghai 201800, China. ^[1] Shanghai Aure Technology Limited Company, Shanghai 201800, China. ^[2]

关键词 CMOS-MEMS active micropump phase-change micropump

主题词微机电系统(Micro-Electrical-Mechanical Systems);微流体学(Microfluidics);微流体分析技术(Microfluidic Analytical Techniques);氧化物(Oxides);半导体(Semiconductors)

DOI 10.3390/s23115207

PMID 37299932

发布时间 2023-09-28

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Sensors (Basel, Switzerland)

2023年23卷11期

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