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    首页> Sensors (Basel, Switzerland)> Multiple-Degree-of-Freedom Modeling and Simulation for Seismic-Grade Sigma-Delta MEMS Capacitive Accelerometers.

    Multiple-Degree-of-Freedom Modeling and Simulation for Seismic-Grade Sigma-Delta MEMS Capacitive Accelerometers.

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    作者： Xuefeng,Wang [1] ; Penghao,Zhang [1] ; Shijin,Ding [1]
    作者单位： State Key Laboratory of ASIC and System, School of Microelectronics, Fudan University, Shanghai 200433, China. [1]
    关键词 MEMS accelerometerselectromechanical modelingmultiple-degree-of-freedomnoisesigma–delta
    主题词 微机电系统(Micro-Electrical-Mechanical Systems);计算机模拟(Computer Simulation);真空(Vacuum)
    DOI 10.3390/s23125394
    PMID 37420559
    发布时间 2023-07-18
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    Sensors (Basel, Switzerland)

    Sensors (Basel, Switzerland)

    2023年23卷12期

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