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Detailed Study of the Correlation between Cross-Linking of Thick SU-8 and UV-NIR Optical Transmission/Photoluminescence Spectroscopy.

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作者： Abdullah,Alharbi ^[1] ; Dhaifallah,Almutairi ^[1] ; Hadba,Hussain ^[1] ; Salman,Alfihed ^[1]

作者单位： Microelectronics and Semiconductors Institute, King Abdulaziz City for Science and Technology (KACST), Riyadh 11442, Saudi Arabia. ^[1]

关键词 SU-8 SU-8 UV annealing effects on cross-linking SU-8 characterization SU-8 cross-linking SU-8 optical transmission SU-8 thermal effects on cross-linking photoluminescence

DOI 10.3390/polym15193866

PMID 37835915

发布时间 2023-10-31

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Polymers

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2023年15卷19期

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