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    首页> Chimia> Novel Time-of-Flight Residual Gas Analyzer (TOF-RGA) for in situ Real-time Process Monitoring.

    Novel Time-of-Flight Residual Gas Analyzer (TOF-RGA) for in situ Real-time Process Monitoring.

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    作者： Sébastien,Gasc [1] ; Lukas,Hofer [2]
    作者单位： Spacetek Technology AG, Brüggliweg 18, CH-3073 Gümligen. sebastien.gasc@spacetek.ch. [1] Spacetek Technology AG, Brüggliweg 18, CH-3073 Gümligen. lukas.hofer@spacetek.ch. [2]
    关键词 Residual gas analysisTime-of-flight mass spectrometry
    DOI 10.2533/chimia.2022.52
    PMID 38069749
    发布时间 2023-12-09
    提交
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    Chimia

    Chimia

    2022年76卷1-2期

    52-59页

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