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High-Performance and Thermally Robust A1-Mode Lamb Wave Resonators on Bonded LiNbO3/SiC Membranes.

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第一作者： Noriyuki,Watanabe

第一单位： Integrated Graduate School of Medicine, Engineering, and Agricultural Sciences, University of Yamanashi, Kofu 400-8511, Yamanashi, Japan.

作者： Noriyuki,Watanabe ^[1] ; Shoji,Kakio ^[1] ; Yoshiki,Sakaida ^[2] ; Hidehiko,Oku ^[2] ; Shigeomi,Hishiki ^[2]

作者单位： Integrated Graduate School of Medicine, Engineering, and Agricultural Sciences, University of Yamanashi, Kofu 400-8511, Yamanashi, Japan. ^[1] SiC Division, Air Water Inc., 2290-1, Takibe, Toyoshina, Azumino 399-8204, Nagano, Japan. ^[2]

关键词 A1-mode Lamb wave resonator LiNbO3/SiC bonded membrane SiC-on-Si substrate membrane thermal analysis thermal stability

DOI 10.3390/mi16121413

PMID 41470578

发布时间 2026-01-02

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2025年16卷12期

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