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首页> Applied optics> Optical, composition, durability, and environmental properties of the microwave plasma-assisted sputter-deposited silicon nitride.

Optical, composition, durability, and environmental properties of the microwave plasma-assisted sputter-deposited silicon nitride.

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第一作者： Connor,Lindsay
作者： Connor,Lindsay ; Carlos,Garcia Nuñez ; Lewis,Fleming ; Ian,Brinkley ; Jonathan,Pomfret ; Michal,Mazur ; Malgorzata,Kot ; Wenzhong,Zhu ; Kirstin,Saunders ; Stuart,Reid ; Elena,Herguedas ; Andres,Redondo-Cubero ; Des,Gibson
DOI 10.1364/AO.578043
PMID 41842015
发布时间 2026-03-17
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Applied optics

Applied optics

2026年65卷5期

A176-A186页

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