换一批微纳米压印工艺对PMMA流动填充及保真度的影响
Effect of Micro/Nano Stamping Process Parameters on PMMA Liquid Filling and Fidelity of Graphics
摘要采用有限元软件ANSYS进行数值分析及试验验证，研究工艺参数对PMMA流动填充和图形保真度的影响。选取3个相邻的高度不同的微透镜作为分析模型，选择四边形单元，采用映射的方式划分网格，选取模具上表面节点，施加工作压力载荷。分析微透镜阵列的整体压印效果，从是否大面积完全压印、透镜是否完全填充、透镜表面质量(粗糙度等)、缺陷(气泡、裂纹等)等指标进行考察，选出部分较优工艺参数；与较优工艺参数进行交叉比较，选出最优工艺参数；再以该组工艺参数为试验组，进行重复试验，检验工艺参数的可重复性。
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分类号
TG494
栏目名称
DOI
10.11713/j.issn.1009-4822.2016.03.030
发布时间
2016-06-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
基金项目
国家高技术研究发展计划（863计划）（2009AA04Z305）
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