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980nm内腔接触式VCSEL的模拟和分析

Simulation and Analysis of 980nm Intra-contact VCSEL

摘要为了提高VCSEL的光电性能,设计了一种内腔接触式VCSEL结构器件。本文采用Crosslight PICS3D分析软件,分别对相同外延生长情况下的980nm VCSEL传统结构和内腔接触式结构的光电性能进行模拟。经模拟得到,传统结构器件的阈值电流为8.76mA,内腔接触式结构的阈值电流为6.23mA,低于传统结构;当器件的注入电流均为25mA、在阈值电流三倍附近时,传统结构器件的输出功率为5.6mW,内腔接触式结构器件为7mW,器件输出功率和转换效率得到提高,光电性能得到改善,且稳定工作。

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