换一批基于环境扫描电镜的联合成像表征操纵及微加工设备功能群
Integrated system of imaging, micro-manipulation and fabrication based on environmental scanning electron microscopy
摘要环境扫描电子显微镜是在扫描电子显微镜基础上引入可以进行在含水条件下观察非导电性样本的相关技术，因此其极为适合生物样本的观察。基于环境扫描电子显微镜平台，本课题组发展了一整套集形貌观察、物性测量、三维微操控和电子束微加工为一体的设备功能群，集经典生物医学研究方法：表征、解剖、取样、标记，延伸入微、纳米介观层次，为更加深入研究生物医学问题提供实用的工具。本文对此进行了详细地说明和介绍，并举例说明其在医学、材料、微弱力测量和微加工等方面的应用。
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关键词
环境扫描电子显微镜低真空模式微操纵微弱力测量电子束曝光ESEMlow vacuum modemicro manipulationmicro force measurementelectron beam lithography
DOI
10.3969/j.1000-6281.2015.01.008
发布时间
2015-03-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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